Study of Ga ion implantation effect on InGaAs/InP system and its application to low dimensional structures
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
CONTENTS
p1
I. INTRODUCTION
p1
II. EXPERIMENTAL
p6
A. GSMBE Growth of InGaAs/InP SL Structures
p6
B. Ga Ion Implantation and Fabrication of Quantum Wire
p17
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 兪淳載 [著]
- 著者標目
- 兪, 淳載 ユ, スンゼ
- 並列タイトル等
- InGaAs/InP系材料におけるGaイオン注入効果とその低次元構造への応用に関する研究 InGaAs/InPケイ ザイリョウ ニ オケル Ga イオン チュウニュウ コウカ ト ソノ テイジゲン コウゾウ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成3年3月26日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1991
- 報告番号
- 甲第4364号
- 学位
- 工学博士