シリコンの固相エピタキシャル成長に関する研究
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目次
[目次]
第1章 序論
p1
1.1 エピタキシャル成長の必要性
p1
1.2 固相エピタキシャル成長の利点と問題点
p1
1.3 本研究の概要と意義
p3
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- シリコン ノ コソウ エピタキシャル セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 上野智雄 [著]
- 授与機関名
- 早稲田大学
- 授与年月日
- 平成3年3月15日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1991
- 報告番号
- 甲第865号
- 学位
- 工学博士