Excited-plasma synthesis of fluorine- and silicon-containing organic thin films for surface science
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目次
論文目録
CONTENTS
General Introduction
p1
Part I Plasma-Synthesis and Properties of Fluorine-Containing Organic Thin Films
p20
Chapter1 Optical Emission Studies on Interaction between Halogenated Carbon Species and Noble Gas during Fluoropolymer Sputtering
p21
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトル
- 著者・編者
- 杉本岩雄 [著]
- 著者標目
- 杉本, 岩雄 スギモト, イワオ
- 並列タイトル等
- 含フッ素系および含ケイ素系有機薄膜の励起プラズマによる合成とその表面物性 ガン フッソケイ オヨビ ガン ケイソケイ ユウキ ハクマク ノ レイキ プラズマ ニ ヨル ゴウセイ ト ソノ ヒョウメン ブッセイ
- 授与機関名
- 京都大学
- 授与年月日
- 平成3年11月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1991
- 報告番号
- 乙第7686号
- 学位
- 工学博士