Studies on quantitative analysis of impurities in compound semiconductors by secondary ion mass spectrometry
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目次
Contents
p1
Chapter1.General Introduction
p1
1.1 Background
p1
1.2 Problems in quantitative analysis
p3
1.3 Purposes and scope of this article
p5
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 田中融 [著]
- 著者標目
- 田中, 融 タナカ, トオル
- 並列タイトル等
- 二次イオン質量分析法による化合物半導体中不純物の定量分析に関する研究 ニジ イオン シツリョウ ブンセキホウ ニ ヨル カゴウブツ ハンドウタイチュウ フジュンブツ ノ テイリョウ ブンセキ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成3年10月5日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1991
- 報告番号
- 乙第5514号
- 学位
- 理学博士