非共鳴多光子イオン化技術を用いた表面分析の基礎研究
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目次
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緒言
p1
第1章 スパッタリングと中性粒子の検出
p4
§1.1 スパッタリングとは
p4
§1.2 スパッタリングの理論
p5
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ヒキョウメイ タコウシ イオンカ ギジュツ オ モチイタ ヒョウメン ブンセキ ノ キソ ケンキュウ
- 著者・編者
- 河藤栄三 [著]
- 著者標目
- 河藤, 栄三 カワトウ, エイゾウ
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成3年10月28日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1991
- 報告番号
- 乙第5531号
- 学位
- 工学博士