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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
第1章 序論
p1
1.1 まえがき
p1
1.2 硬質皮膜の要求特性と硬質皮膜の選定
p7
1.3 HfC膜の開発経過
p11
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- CVDホウ ニ ヨル セッサク コウグヨウ タンカ ハフニウム (HfC) ヒマク ノ セイセイ ト タイマモウセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 府山盛明 [著]
- 著者標目
- 府山, 盛明 フヤマ, モリアキ
- 授与機関名
- 長岡技術科学大学
- 授与年月日
- 平成4年3月25日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1992
- 報告番号
- 乙第22号
- 学位
- 工学博士