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目次
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p1
1章 序論
p1
1.1 はじめに
p1
1.2 有機金属気相成長(MOCVD)法の現状
p2
1.3 MOCVD技術の課題と将来方向
p16
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ユウキ キンゾク オ モチイタ カゴウブツ ハンドウタイ ハクマク セイチョウ ニ オケル ハンノウ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 真下正夫 [著]
- 授与機関名
- 早稲田大学
- 授与年月日
- 平成3年10月17日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1991
- 報告番号
- 乙第853号
- 学位
- 工学博士