Low temperature growth of pure polycrystalline diamond films by microwave plasma assisted chemical vapor deposition
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
CONTENTS
CHAPTER I INTRODUCTION
1.1 Motivation
p1
1.2 History of diamond deposition
p2
1.3 Previous studies on low temperature growth of polycrystalline diamond films
p3
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 村中廉 [著]
- 著者標目
- 村中, 廉 ムラナカ, ヤスシ
- 並列タイトル等
- マイクロ波プラズマCVDによる高純度ダイアモンド薄膜の低温成長に関する研究 マイクロハ プラズマ CVD ニ ヨル コウジュンド ダイアモンド ハクマク ノ テイオン セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 早稲田大学
- 授与年月日
- 平成3年10月17日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1991
- 報告番号
- 乙第857号
- 学位
- 工学博士