Study for plasma X-ray source and its application to X-ray lithography
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
Contents
p8
Abstract
p1
Symbols
p10
1 Introduction
p1
1.1 Motive and Purpose
p1
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 有田浩 [著]
- 著者標目
- 有田, 浩 アリタ, ヒロシ
- 並列タイトル等
- プラズマX線源とX線リソグラフィへの応用に関する研究 プラズマ Xセンゲン ト Xセン リソグラフィ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 同志社大学
- 授与年月日
- 平成4年9月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1992
- 報告番号
- 乙第98号
- 学位
- 工学博士