Evaluation of hetero interfaces in semiconductor and magnetic devices by sputter-assisted Auger electron spectroscopy
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
Contents
p3
Preface
p1
Acknowledgements
p2
Chapter1.Introduction
p1
1.1 Analytical techniques as applied to characterization of interfaces
p1
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 梶原和夫 [著]
- 著者標目
- 梶原, 和夫 カジワラ, カズオ
- 並列タイトル等
- オージェ電子分光法による半導体及び磁気デバイスのヘテロ界面評価の研究 オージェ デンシ ブンコウホウ ニ ヨル ハンドウタイ オヨビ ジキ デバイス ノ ヘテロ カイメン ヒョウカ ノ ケンキュウ
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成4年9月22日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1992
- 報告番号
- 乙第5801号
- 学位
- 工学博士