Preparation of coating films by the sol-gel method and application to fine-patterning process for optical memory disk substrates
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目次
Contents
p1
1.General Introduction
p1
2.Preparation of Alkali Passivation Coating Films by the Sol-Gel Method
p8
2.1.Preparation of B₂O₃-SiO₂ Coating Films
p8
2.2.Influences of Humidity in the Atmosphere on the Formation of B₂O₃-SiO₂ Coating Films
p18
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 松田厚範 [著]
- 著者標目
- 松田, 厚範 マツダ, アツノリ
- 並列タイトル等
- ゾル-ゲル法によるコーティング薄膜の作製と光ディスク基板のための微細加工プロセスへの応用 ゾル - ゲルホウ ニ ヨル コーティング ハクマク ノ サクセイ ト ヒカリ ディスク キバン ノ タメ ノ ビサイ カコウ プロセス エ ノ オウヨウ
- 授与機関名
- 大阪府立大学
- 授与年月日
- 平成4年11月20日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1992
- 報告番号
- 乙第712号
- 学位
- 博士 (工学)