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目次
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第1編 電子顕微鏡の真空排気システムの開発
p1
第1章 緒論
p1
1.1 電子顕微鏡における真空工学的研究の意義
p1
1.2 本研究の目的と内容
p4
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コウシンクウ ハイキ システム ノ カイハツ ト オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 及川永 [著]
- 著者標目
- 及川, 永 オイカワ, ヒサシ
- 授与機関名
- 北海道大学
- 授与年月日
- 平成4年12月25日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1992
- 報告番号
- 乙第4185号
- 学位
- 博士 (工学)