A study on formation of metastable niobium films containing oxygen
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目次
主論文の要旨
論文目録
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 小原幸三 [著]
- 著者標目
- 小原, 幸三 オバラ, コウゾウ
- 並列タイトル等
- 酸素を含んだ準安定ニオブ薄膜の生成についての研究 サンソ オ フクンダ ジュンアンテイ ニオブ ハクマク ノ セイセイ ニ ツイテ ノ ケンキュウ
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 平成4年10月30日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1992
- 報告番号
- 乙第4269号
- 学位
- 博士 (理学)