Studies on photoacid generation from aromatic sulfonates : mechanistic investigation and application to resist materials
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目次
Contents
Chapter 1 General Introduction
p1
References
p17
Chapter 2 Photoinduced Intramolecular Electron Trasnfer Mechanism for Photochemical Dissociation of Para-Substituted Benzyl 9,10-Dimethoxyanthracene-2-sulfonates
p19
Abstract
p19
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 内藤和彦 [著]
- 著者標目
- 内藤, 和彦 ナイトウ, カズヒコ
- 並列タイトル等
- 芳香族スルホネート類からの光酸発生に関する研究 : 反応機構の研究とレジスト材料への応用 ホウコウゾク スルホネートルイ カラ ノ ヒカリ サン ハッセイ ニ カンスル ケンキュウ : ハンノウ キコウ ノ ケンキュウ ト レジスト ザイリョウ エ ノ オウヨウ
- 授与機関名
- 千葉大学
- 授与年月日
- 平成5年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1993
- 報告番号
- 甲第989号
- 学位
- 博士 (工学)