エキシマレーザ再結晶化シリコン膜の薄膜トランジスタ応用に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
論文目録
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p1
1 序論
p4
1.1 はじめに
p4
1.2 液晶ディスプレイの現状
p4
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- エキシマ レーザ サイケッショウカ シリコンマク ノ ハクマク トランジスタ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 清水和裕 [著]
- 著者標目
- 清水, 和裕 シミズ, カズヒロ
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 平成5年3月26日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1993
- 報告番号
- 甲第2606号
- 学位
- 博士 (工学)