急速熱酸化技術を用いる極薄酸化膜形成に関する研究
図書館・個人送信サービスを利用する
収録元データベースで確認する
国立国会図書館デジタルコレクション
国立国会図書館の登録利用者（本登録）の方を対象とした、個人送信サービスで閲覧可能です。ただし、日本国外に居住している場合は、個人送信サービスを利用できません。
書店で探す
障害者向け資料で読む
目次
目次
第1章 序論
p1
1.1 MOSLSIの超高集積化における極薄ゲート酸化膜の役割と課題
p1
1.2 本研究の目的
p10
1.3 本論文の概要
p11
書店で探す
障害者向け資料で読む
- みなサーチ
- プレーンテキスト
みなサーチに登録・ログインで利用できます
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- キュウソク ネツ サンカ ギジュツ オ モチイル ゴクウス サンカマク ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 福田永 [著]
- 著者標目
- 福田, 永 フクダ, ヒサシ
- 授与機関名
- 早稲田大学
- 授与年月日
- 平成5年3月4日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1993
- 報告番号
- 乙第961号
- 学位
- 博士 (工学)