プラズマ化学気相成長法による多結晶及び非晶質Si-C薄膜の構造に関する研究
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目次
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第1章 序論
p1
1.1 はじめに
p1
1.2 単結晶SiCの特徴と課題
p1
1.3 非晶質と微結晶SiCの特徴と課題
p5
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- プラズマ カガク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル タケッショウ オヨビ ヒショウシツ Si-C ハクマク ノ コウゾウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 竹下哲義 [著]
- 著者標目
- 竹下, 哲義 タケシタ, テツヨシ
- 授与機関名
- 金沢大学
- 授与年月日
- 平成4年9月30日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1992
- 報告番号
- 甲第1128号
- 学位
- 博士 (工学)