高周波反応性スパッタ法による鉄基磁性酸化物薄膜の磁気および誘電特性
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目次
論文要旨
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p1
第1章 序論
p1
1.1 酸化物磁性薄膜
p1
1.2 研究の概要
p5
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コウシュウハ ハンノウセイ スパッタホウ ニ ヨル テッキ ジセイ サンカブツ ハクマク ノ ジキ オヨビ ユウデン トクセイ
- 著者・編者
- 加島篤 [著]
- 著者標目
- 加島, 篤 カジマ, アツシ
- 授与機関名
- 豊橋技術科学大学
- 授与年月日
- 平成6年3月9日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1994
- 報告番号
- 乙第64号
- 学位
- 博士 (工学)