SOI(Silicon-on-Insulator)構造を用いた高性能機械量センサに関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
論文要旨
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第1章 序論
p1
1.1 本研究の背景と目的
p1
1.2 研究の概要
p3
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- SOI (Silicon - on - Insulator) コウゾウ オ モチイタ コウセイノウ キカイリョウ センサ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 李榮泰 [著]
- 著者標目
- 李, 榮泰 イー, ヨンテ
- 授与機関名
- 豊橋技術科学大学
- 授与年月日
- 平成7年3月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1995
- 報告番号
- 甲第126号
- 学位
- 博士 (工学)