ヘリコンスパッタリング法による酸化物超伝導薄膜の作成と超伝導アンテナへの応用
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目次
(目次)
概要
p1
第1章 序論
p3
第2章 薄膜作製と評価
p7
第1節 薄膜作製の手法
p7
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ヘリコン スパッタリングホウ ニ ヨル サンカブツ チョウデンドウ ハクマク ノ サクセイ ト チョウデンドウ アンテナ エ ノ オウヨウ
- 著者・編者
- 中村嘉孝 [著]
- 著者標目
- 中村, 嘉孝 ナカムラ, ヨシタカ
- 授与機関名
- 山形大学
- 授与年月日
- 平成8年3月31日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 甲第241号
- 学位
- 博士 (工学)