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Optical properties and molecular orbital analyses of defects in photo-CVD SiO[2] thin films

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Optical properties and molecular orbital analyses of defects in photo-CVD SiO[2] thin films

国立国会図書館請求記号
UT51-96-E234
国立国会図書館書誌ID
000000294837
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3110097
資料種別
博士論文
著者
金島岳 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
大阪大学,博士 (工学)
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資料に関する注記

一般注記：

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目次

  • Abstract

    p1

  • Contents

    p3

  • 1 Introduction

    p1

  • 1.1 Background

    p1

  • 1.2 Purpose of This Work

    p3

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書誌情報

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紙 デジタル

資料種別
博士論文
タイトル
Optical properties and molecular orbital analyses of defects in photo-CVD SiO[2] thin films
著者・編者
金島岳 [著]
著者標目
金島, 岳 カナシマ, タケシ
並列タイトル等
光CDV SiO[2]膜中欠陥の光学的性質および分子軌道法による評価 ヒカリ CDV SiO2マクチュウ ケッカン ノ コウガクテキ セイシツ オヨビ ブンシ キドウホウ ニ ヨル ヒョウカ
授与機関名
大阪大学
授与年月日
平成8年3月25日
授与年月日（W3CDTF）
1996
報告番号
甲第5631号
学位
博士 (工学)