レーザーCVD法によるモリブデン膜およびタンタル酸化物膜の作製に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
第1章 緒言
p1
第2章 炭酸ガスレーザーCVD法によるMo(CO)₆の光分解と成膜
p5
2.1 はじめに
p5
2.2 実験方法
p6
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- レーザー CVDホウ ニ ヨル モリブデンマク オヨビ タンタル サンカブツマク ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 渡邊昭雄 [著]
- 著者標目
- 渡邊, 昭雄 ワタナベ, アキオ
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 平成8年3月1日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 乙第4953号
- 学位
- 博士 (工学)