シリコン半導体素子の透過電子顕微鏡断面観察による結晶欠陥の解析・評価に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
第I部 概説
p1
第1章 序論
p1
1.1 シリコン(Si)半導体素子と微細化
p1
1.2 Si半導体素子における結晶欠陥と素子特性
p1
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- シリコン ハンドウタイ ソシ ノ トウカ デンシ ケンビキョウ ダンメン カンサツ ニ ヨル ケッショウ ケッカン ノ カイセキ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 青木茂 [著]
- 著者標目
- 青木, 茂 アオキ, シゲル
- 授与機関名
- 千葉工業大学
- 授与年月日
- 平成7年12月19日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1995
- 報告番号
- 乙第4号
- 学位
- 博士 (工学)