Development of an electron beam excited plasma and its application
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
ABSTRACT
p1
CONTENTS
p3
1.Introduction
p1
1-1.Plasma production by low-energy electron beam
p1
1-2.Purpose of this work
p2
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 浜垣学 [著]
- 著者標目
- 浜垣, 学 ハマガキ, マナブ
- 並列タイトル等
- 電子ビーム励起プラズマの開発と応用 デンシ ビーム レイキ プラズマ ノ カイハツ ト オウヨウ
- 授与機関名
- 埼玉大学
- 授与年月日
- 平成8年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 乙第33号
- 学位
- 博士 (工学)