Characterization of non-uniform multilayer semiconductor structures by automated spectroscopic ellipsometry
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
CONTENTS
p5
ACKNOWLEDGMENTS
p4
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p5
ABBREVIATIONS AND LIST OF SYMBOLS
p9
PREFACE
p20
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Magdi Ezzat El-ghazzawi [著]
- 著者標目
- Magdi Ezzat El-ghazzawi マグデ エザト エリガザウィ
- 並列タイトル等
- 自動分光エリプソメトリーによる不均一多層半導体構造の評価 ジドウ ブンコウ エリプソメトリー ニ ヨル フキンイツ タソウ ハンドウタイ コウゾウ ノ ヒョウカ
- 授与機関名
- 東京農工大学
- 授与年月日
- 平成8年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 博工甲第131号
- 学位
- 博士 (工学)