In situ optical monitoring and control of metalorganic vapor phase epitaxy
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目次
Contents
p1
1 Introduction
p1
1.1 MBE and MOVPE growth
p1
1.2 In situ monitoring methods
p5
1.3 Surface Photo-Absorption(SPA)
p7
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 小林康之 [著]
- 著者標目
- 小林, 康之 コバヤシ, ヤスユキ
- 並列タイトル等
- 有機金属気相成長の光学的その場観察と制御 ユウキ キンゾク キソウ セイチョウ ノ コウガクテキ ソノバ カンサツ ト セイギョ
- 授与機関名
- 東京農工大学
- 授与年月日
- 平成8年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 博工乙第20号
- 学位
- 博士 (工学)