シリコン集積回路におけるオーム性接触界面の高信頼化の研究
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目次
第1章 序論
p1
1.1 はじめに
p1
1.2 LSIメタライゼーションにおける集積化に伴う進展と微細化に伴って顕在化した問題点
p7
1.3 本研究の目的
p14
参考文献
p17
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- シリコン シュウセキ カイロ ニ オケル オームセイ セッショク カイメン ノ コウシンライカ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 武山真弓 [著]
- 著者標目
- 武山, 真弓 タケヤマ, マユミ
- 授与機関名
- 北海道大学
- 授与年月日
- 平成9年9月30日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1997
- 報告番号
- 乙第5227号
- 学位
- 博士 (工学)