イオンビーム照射による金属シリサイド形成の基礎過程と微細構造形成への応用に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
第1章 序論
p1
1.1 研究の目的
p1
1.2 研究の背景
p2
1.3 本論文の要旨と構成
p9
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- イオン ビーム ショウシャ ニ ヨル キンゾク シリサイド ケイセイ ノ キソ カテイ ト ビサイ コウゾウ ケイセイ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 馬場昭好 [著]
- 著者標目
- 馬場, 昭好 ババ, アキヨシ
- 授与機関名
- 九州大学
- 授与年月日
- 平成9年9月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1997
- 報告番号
- 甲第4170号
- 学位
- 博士 (工学)