CZ法に於けるSi単結晶育成時の融液流動と酸素輸送に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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第1章 序論
p1
1.1 本研究の背景
p1
1.2 結晶育成プロセスと坩堝内に発生する流れ
p3
1.3 従来の研究
p10
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- CZホウ ニ オケル Si タンケッショウ イクセイジ ノ ユウエキ リュウドウ ト サンソ ユソウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 十河慎二 [著]
- 著者標目
- 十河, 慎二 トガワ, シンジ
- 授与機関名
- 九州大学
- 授与年月日
- 平成9年9月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1997
- 報告番号
- 乙第6531号
- 学位
- 博士 (工学)