Al[2]O[3]/Si構造形成における成長材料の励起及び界面制御に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
論文要旨
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第1章 序論
p1
1-1 SOI構造の特徴と形成技術
p1
1-2 エピタキシャルAl₂O₃薄膜を用いたSOI構造の形成
p6
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- Al2O3/Si コウゾウ ケイセイ ニ オケル セイチョウ ザイリョウ ノ レイキ オヨビ カイメン セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 葉山清輝 [著]
- 著者標目
- 葉山, 清輝 ハヤマ, キヨテル
- 授与機関名
- 豊橋技術科学大学
- 授与年月日
- 平成9年12月17日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1997
- 報告番号
- 乙第102号
- 学位
- 博士 (工学)