半導体基板上への常誘電性および強誘電性弗化物薄膜の形成とデバイス応用に関する研究
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目次
論文目録
論文目次
第1章 序論
1-1 はじめに
p2
1-2 常誘電性弗化物膜の化合物半導体デバイスへの応用
p6
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ハンドウタイ キバンジョウ エ ノ ジョウユウデンセイ オヨビ キョウユウデンセイ フッカブツ ハクマク ノ ケイセイ ト デバイス オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 會澤康治 [著]
- 著者標目
- 會澤, 康治 アイザワ, コウジ
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 平成8年11月30日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 乙第2963号
- 学位
- 博士 (工学)