Gas cluster ion-solid surface in teraction and thin film formation
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
論文目録
Contents
p15
1 Introduction
p1
1.1 Ion beam processing
p1
1.2 Advantages of the gas cluster ion beam technique
p2
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 秋月誠 [著]
- 著者標目
- 秋月, 誠 アキズキ, マコト
- 並列タイトル等
- ガスクライスターイオンと固体表面の相互作用及び薄膜形成に関する研究 ガス クライスター イオン ト コタイ ヒョウメン ノ ソウゴ サヨウ オヨビ ハクマク ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 京都大学
- 授与年月日
- 平成11年3月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1999
- 報告番号
- 甲第7811号
- 学位
- 博士 (工学)