Nano-processing with gas cluster ion beams
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目次
論文目録
Abstract
p3
Contents
p7
1 Introduction
p1
1.1 What is a Cluster?
p1
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 豊田紀章 [著]
- 著者標目
- 豊田, 紀章 トヨダ, ノリアキ
- 並列タイトル等
- ガスクラスターイオンによるナノ構造形成プロセスの研究 ガス クラスター イオン ニ ヨル ナノ コウゾウ ケイセイ プロセス ノ ケンキュウ
- 授与機関名
- 京都大学
- 授与年月日
- 平成11年3月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1999
- 報告番号
- 甲第7843号
- 学位
- 博士 (工学)