A study on prediction of solubility speed of photosensitive polymers in alkaline developer by measurement of electrical conductivity of polymer solution in organic solvent
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
Contents
Chapter1 Introduction
p1
References
p8
Chapter2 Preparation of a Photoresist Using Polybenzoxazol(PBO)as a Base Polymer
p13
2.1 Introduction
p13
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 竹田敏郎 [著]
- 著者標目
- 竹田, 敏郎 タケダ, トシロウ
- 並列タイトル等
- フォトレジストポリマー溶液の電気伝導度測定による現像液への溶解速度の予測に関する研究 フォトレジスト ポリマー ヨウエキ ノ デンキ デンドウド ソクテイ ニ ヨル ゲンゾウエキ エ ノ ヨウカイ ソクド ノ ヨソク ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 平成11年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1999
- 報告番号
- 甲第6855号
- 学位
- 博士(工学)