博士論文
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A study on the silicon accelerometer with wide dynamic range

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A study on the silicon accelerometer with wide dynamic range

国立国会図書館請求記号
UT51-99-H288
国立国会図書館書誌ID
000000335198
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3150006
資料種別
博士論文
著者
高相春 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
東北大学,博士(工学)
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目次

  • Table of contents

    p1

  • 1.Introduction

    p1

  • 1.1 Micromachining

    p1

  • 1.2 Accelerometers

    p5

  • 1.3 Motivation and Background

    p9

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
高相春 [著]
著者標目
高, 相春 コ, サンチュン
並列タイトル等
広ダイナミックレジンのシリコン加速度センサに関する研究 コウダイナミック レジン ノ シリコン カソクド センサ ニ カンスル ケンキュウ
授与機関名
東北大学
授与年月日
平成11年3月25日
授与年月日(W3CDTF)
1999
報告番号
甲第6865号
学位
博士(工学)