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極微細金属ゲートSOIデバイスの研究

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極微細金属ゲートSOIデバイスの研究

国立国会図書館請求記号
UT51-99-H333
国立国会図書館書誌ID
000000335243
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3150052
資料種別
博士論文
著者
牛木健雄 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
東北大学,博士(工学)
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目次

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  • 第1章 序論

    p3

  • 1.1.研究背景

    p3

  • 1.2.金属ゲートSOI MOSデバイス技術

    p6

  • 1.3.歴史的概観

    p9

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書誌情報

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紙 デジタル

資料種別
博士論文
タイトル
極微細金属ゲートSOIデバイスの研究
タイトルよみ
ゴクビサイ キンゾク ゲート SOI デバイス ノ ケンキュウ
著者・編者
牛木健雄 [著]
著者標目
牛木, 健雄 ウシキ, タケオ
授与機関名
東北大学
授与年月日
平成11年3月25日
授与年月日（W3CDTF）
1999
報告番号
甲第6910号
学位
博士(工学)