高性能半導体プラズマエッチングプロセスの研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
第1章 序論
p1
1.1 半導体技術の進展
p1
1.2 21世紀の半導体技術の方向
p1
1.3 半導体プラズマエッチング技術の重要性と今後の要求
p5
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コウセイノウ ハンドウタイ プラズマ エッチング プロセス ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 米田博之 [著]
- 著者標目
- 米田, 博之 コメダ, ヒロユキ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 平成11年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1999
- 報告番号
- 甲第6914号
- 学位
- 博士(工学)