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Ar,SiH4ガスRF非平衡プラズマの過渡応答解析

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Ar,SiH4ガスRF非平衡プラズマの過渡応答解析

国立国会図書館請求記号
UT51-99-K414
国立国会図書館書誌ID
000000336638
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3151448
資料種別
博士論文
著者
楊靖 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
北海道大学,博士(理学)
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目次

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 緒言

    p1

  • 1.2 RF非平衡プラズマ

    p2

  • 1.3 RF電界における荷電粒子の応答

    p4

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
Ar SiH4 ガス RF ヒヘイコウ プラズマ ノ カト オウトウ カイセキ
著者・編者
楊靖 [著]
著者標目
楊, 靖 ヨウ, セイ
授与機関名
北海道大学
授与年月日
平成11年3月25日
授与年月日(W3CDTF)
1999
報告番号
甲第4766号
学位
博士(理学)