LCD用AI配線におけるウィスカーに関する透過電子顕微鏡的研究
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目次
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p1
第1章 緒言
p1
1.1 薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ
p1
1.2 薄膜トランジスタの断面構造
p1
1.3 Al配線材料の課題
p4
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- LCDヨウ AI ハイセン ニ オケル ウィスカー ニ カンスル トウカ デンシ ケンビキョウテキ ケンキュウ
- 著者・編者
- 辻本勝浩 [著]
- 著者標目
- 辻本, 勝浩 ツジモト, カツヒロ
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 平成11年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1999
- 報告番号
- 甲第4310号
- 学位
- 博士(工学)