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目次
論文の和文要旨
Content
p1
§1.Introduction
p1
1.1.Sputter-Deposition
p1
1.2.DC-Sputter-Deposition
p2
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 楊季平 [著]
- 著者標目
- 楊, 季平 ヨウ, キヘイ
- 並列タイトル等
- MgO&GaAs単結晶基板上の直流バイアスプラズマスパッタNi1-xFex系薄膜の構造及び物性 MgO & GaAs タンケッショウ キバンジョウ ノ チョクリュウ バイアス プラズマ スパッタ Ni1 - xFexケイ ハクマク ノ コウゾウ オヨビ ブッセイ
- 授与機関名
- 電気通信大学
- 授与年月日
- 平成11年3月24日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1999
- 報告番号
- 甲第164号
- 学位
- 博士(理学)