RF高密度プラズマを用いた高アスペクト比SiO[2]エッチングとその反応機構
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
第5章 平板型磁気中性ループ放電(NLD)エッチャーの開発とそのプラズマ特性
p49
5.1 序論
p49
5.2 磁気中性ループ放電(NLD)の原理
p49
5.3 実験装置
p49
5.4 結果と考察
p51
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- RF コウミツド プラズマ オ モチイタ コウアスペクトヒ SiO2 エッチング ト ソノ ハンノウ キコウ
- 著者・編者
- 鎭西康彦 [著]
- 著者標目
- 鎭西, 康彦 チンゼイ, ヤスヒコ
- 授与機関名
- 東洋大学
- 授与年月日
- 平成11年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1999
- 報告番号
- 甲第63号
- 学位
- 博士(工学)