Study on characterization and control of surface adsorbates and oxides on SiC using FTIR-ATR
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
Index
p1
1.Introduction
p1
1.1 Status of power electronics for power systems
p1
1.2 Possibility of SiC semiconductor devices
p3
1.3 Recent developments on SiC
p6
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 土田秀一 [著]
- 著者標目
- 土田, 秀一 ツチダ, ヒデカズ
- 並列タイトル等
- FTIR-ATRによるSiC上の表面吸着質ならびに酸化物の評価・制御に関する研究 FTIR-ATR ニ ヨル SiCジョウ ノ ヒョウメン キュウチャクシツ ナラビニ サンカブツ ノ ヒョウカ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 長岡技術科学大学
- 授与年月日
- 平成11年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1999
- 報告番号
- 乙第134号
- 学位
- 博士(工学)