プラズマ・プロセスにより作製した太陽電池用シリコン薄膜の基礎研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
論文目録
第1章 緒言
1.1 はじめに
1.2 水素化アモルファス･シリコン膜(a-Si:H)
1.3 微結晶シリコン膜(μc-Si:H)
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- プラズマ プロセス ニ ヨリ サクセイシタ タイヨウ デンチヨウ シリコン ハクマク ノ キソ ケンキュウ
- 著者・編者
- 亀井利浩 [著]
- 著者標目
- 亀井, 利浩 カメイ, トシヒロ
- 授与機関名
- 京都大学
- 授与年月日
- 平成12年1月24日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 2000
- 報告番号
- 乙第10291号
- 学位
- 博士 (理学)