高速化、微細化、高信頼化に対応可能なULSIアルミ配線技術実現のための一方策
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
第1章 序論
p1
1.1 ULSIの背景と動向
p2
1.2 次世代配線材料としてのAlと微細化の問題
p6
1.3 高速化を加味した高融点金属の選択
p7
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コウソクカ 、 ビサイカ 、 コウシンライカ ニ タイオウ カノウナ ULSI アルミ ハイセン ギジュツ ジツゲン ノ タメ ノ イチ ホウサク
- 著者・編者
- 新海聡子 [著]
- 著者標目
- 新海, 聡子 シンカイ, サトコ
- 授与機関名
- 北見工業大学
- 授与年月日
- 平成12年3月17日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 2000
- 報告番号
- 甲第4号
- 学位
- 博士 (工学)