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Si-L[2,3]線を利用した金属silicide/Si接合系試料の定量分析

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Si-L[2,3]線を利用した金属silicide/Si接合系試料の定量分析

国立国会図書館請求記号
UT51-2000-G377
国立国会図書館書誌ID
000000353616
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3168424
資料種別
博士論文
著者
木下明将 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
岡山大学,博士 (理学)
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目次

  • 目次

    p1

  • 第1章.序論

    p4

  • 1.1.X線発光分析による定量分析

    p4

  • 1.2.シリサイド(silicide)

    p9

  • 1.3.silicide/Si接合系試料の定量分析

    p11

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
Si-L2 3セン オ リヨウシタ キンゾク silicide Si セツゴウケイ シリョウ ノ テイリョウ ブンセキ
著者・編者
木下明将 [著]
著者標目
木下, 明将 キノシタ, アキマサ
授与機関名
岡山大学
授与年月日
平成12年3月25日
授与年月日(W3CDTF)
2000
報告番号
甲第2041号
学位
博士 (理学)