集束イオンビーム加工法を用いた電子顕微鏡試料作製技術の開発と材料科学への応用
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要旨
p1
目次
第1章 集束イオンビーム加工を用いた電子顕微鏡試料作製法
p1
第1.1節 緒言
p1
第1.2節 従来の分析電子顕微鏡試料作製法とその問題点
p2
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- シュウソク イオン ビーム カコウホウ オ モチイタ デンシ ケンビキョウ シリョウ サクセイ ギジュツ ノ カイハツ ト ザイリョウ カガク エ ノ オウヨウ
- 著者・編者
- 矢口紀恵 [著]
- 著者標目
- 矢口, 紀恵 ヤグチ, トシエ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2001
- 出版年（W3CDTF）
- 2001
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 茨城大学