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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 0444890874 (unconfirmed)
- ISSN
- 0167-9317
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1991.
- 出版年(W3CDTF)
- 1991
- 数量
- v.
- 並列タイトル等
- Reprinted from: Microelectronic Engineering, vol 13microcircuit engineering ; microlithography