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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- プラズマ CVDホウ ニ ヨル タイヨウ デンチヨウ コウヒンシツ アモルファス シリコンケイ マク タイセキ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 佐々木敏明 [著]
- 著者標目
- 佐々木, 敏明 ササキ, トシアキ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2001]
- 出版年(W3CDTF)
- 2001
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 東京大学
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