博士論文

Development of subpicosecond pulse radiolysis system and its application to investigation of radiation-induced reactions in chemically amplified resists

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Development of subpicosecond pulse radiolysis system and its application to investigation of radiation-induced reactions in chemically amplified resists

国立国会図書館請求記号
UT51-2003-E799
国立国会図書館書誌ID
000004139515
資料種別
博士論文
著者
Takahiro Kozawa [著]
出版者
[Takahiro Kozawa]
出版年
[2003]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
大阪大学,博士 (工学)
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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
Takahiro Kozawa [著]
著者標目
古澤, 孝弘 コザワ, タカヒロ
出版事項
出版年月日等
[2003]
出版年(W3CDTF)
2003
数量
1冊
並列タイトル等
サブピコ秒パルスラジオリシス装置の開発と化学増幅型レジスト中に誘起される放射線化学反応研究への応用 サブピコビョウ パルス ラジオリシス ソウチ ノ カイハツ ト カガク ゾウフクガタ レジストチュウ ニ ユウキサレル ホウシャセン カガク ハンノウ ケンキュウ エノ オウヨウ
授与機関名
大阪大学