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博士論文

ヘリコン波帯の高周波を用いた分子性ガスプラズマ生成

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ヘリコン波帯の高周波を用いた分子性ガスプラズマ生成

国立国会図書館請求記号
UT51-2003-G264
国立国会図書館書誌ID
000004178191
資料種別
博士論文
著者
菊池秀樹 [著]
出版者
[菊池秀樹]
出版年
[2003]
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
名古屋大学,博士 (工学)
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書誌情報

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紙

資料種別
博士論文
タイトル
ヘリコン波帯の高周波を用いた分子性ガスプラズマ生成
タイトルよみ
ヘリコン ハタイ ノ コウシュウハ オ モチイタ ブンシセイ ガス プラズマ セイセイ
著者・編者
菊池秀樹 [著]
著者標目
菊池, 秀樹 キクチ, ヒデキ
出版事項
[菊池秀樹]
出版年月日等
[2003]
出版年（W3CDTF）
2003
数量
1冊
授与機関名
名古屋大学